在電子廠(chǎng)電子元件的生產(chǎn)中，室內的微粒子對產(chǎn)品的質(zhì)量影響極大。所以在電子元件的生產(chǎn)過(guò)程中需要嚴格控制微粒子的數量，遵循“不攜入、不發(fā)生、不儲備、除去“四大基本原則防止微粒子。使用高性能的過(guò)濾器可使浮游微粒子濃度達到零水平，實(shí)際生產(chǎn)現場(chǎng)可能會(huì )受到作業(yè)人員、機器、周邊器械的發(fā)塵及基板運送所接觸到的零材料的發(fā)塵等，在制造品周?chē)鷵P起少許微塵子，因而造成元件清潔的粒子污染。

  為了確保作業(yè)人員不將微粒子攜入到潔凈車(chē)間

  1.作業(yè)人員進(jìn)入潔凈車(chē)間前，機臺、零件攜入前應進(jìn)行清潔處理；

  2.機器及材料帶進(jìn)凈化車(chē)間前，應盡可能在密封狀態(tài)下帶進(jìn)潔凈車(chē)間前室保養后用超純水擦拭，經(jīng)風(fēng)淋室吹淋后才進(jìn)入凈化車(chē)間；

  3.進(jìn)入凈化車(chē)間者在更衣室要穿著(zhù)不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導電性纖維材質(zhì)的無(wú)塵服、帽、鞋、手套、口罩等；

  4.通過(guò)風(fēng)淋室時(shí)利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后，才能進(jìn)入潔凈車(chē)間。潔凈車(chē)間中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。

  在控制最大的污染源-人在潔凈車(chē)間產(chǎn)生的微粒子的發(fā)塵量，還要控制第二大污染源-機器以及物品移動(dòng)、接觸、剝離造成的發(fā)塵量。

  控制氣流可防止微粒子累積，但對于帶電表面的微粒累積就無(wú)法防止。為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著(zhù)，通常在凈化車(chē)間內會(huì )使用帶電程度在數十伏以下的導電性材料。而對于制造品本身的帶電，則采用帶電程度很少的搬送形態(tài)及接觸部品材料，并藉由除電裝置進(jìn)行除電。

  要求最嚴格的最高等級的凈化車(chē)間，天花板到地面，完全除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動(dòng)。這是在約10秒內將室內空氣和完全過(guò)濾空氣完全交換所計算出來(lái)的數值。同時(shí)，空氣的流向也必須要有精確的控制才行。特別要保證氣流的流通路徑暢通無(wú)阻，因為在流通路徑中有障礙物的話(huà)，容易產(chǎn)生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區域，使得附近已發(fā)生的微粒子無(wú)法快速排除，從而長(cháng)時(shí)間漂流在潔凈車(chē)間內，而一部分會(huì )附著(zhù)在周邊機器設備的表面而引起污染。 

  在無(wú)法避免大量微粒子發(fā)生的機臺中，為了不讓潔凈車(chē)間內產(chǎn)生微粒子，直接做對外排氣的動(dòng)作，即所謂的局部排氣。針對排氣的對策如下：由于導入同量的外氣是必要的，但會(huì )伴隨大量的能源消耗。所以無(wú)法說(shuō)是絕對理想的對策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時(shí)，不僅僅是向凈化車(chē)間外排氣，而應采用將除去粒子后的空氣再回流到凈化車(chē)間內之對策。